摘要：本发明公开了一种微型半球谐振陀螺及其制备方法，属于微/纳加工制造领域。制备时，首先ICP刻蚀高阻硅片得到硅体1；沉积多晶硅并刻蚀得到初期电极3；正面沉积二氧化硅，图形化形成二氧化硅掩膜4；刻蚀得到半球谐振子空腔5和电极6；去除二氧化硅掩膜4，背面ICP刻蚀得到支撑体空腔7；正反两面沉积二氧化硅绝缘层8；正反两面沉积多晶硅，得到半球谐振子9、支撑体10和信号加载电极11；正面减薄抛光，去除多余多晶硅，刻蚀二氧化硅，得到可动的半球谐振子9。本发明的有益效果：加工支撑体空腔，并沉积二氧化硅和多晶硅，易于控制支撑体的支撑面的大小；利用加工电极槽沉积填充可导电的多晶硅，克服了驱动电极和敏感电极工作面积过小的缺点。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人谢建兵;郝永存;常洪龙;申强;苑伟政;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路127号
- 申请号CN201310022146.1
- 申请时间2013年01月21日
- 申请公布号CN103115616A
- 申请公布时间2013年05月22日
- 分类号G01C19/00(2013.01)I;G01C25/00(2006.01)I;
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