摘要：一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所述活塞延伸杆上并与电弧蒸发源连接法兰固定连接，所述密封绝缘件夹装在所述引弧器底座与电弧蒸发源连接法兰之间，所述引弧器底座后端底面上具有伸入所述密封绝缘件与所述活塞延伸杆之间、用于隔开它们的凸起，所述活塞组件支撑件固定在所述引弧器底座的前端面上，所述动密封嵌装在所述引弧器底座的前端面内。本发明能减少不良品率，降低生产成本。
- 专利类型发明专利
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;李秋霞;
- 地址523838 广东省东莞市大岭山颜屋村第四工业区
- 申请号CN201210514559.7
- 申请时间2012年12月04日
- 申请公布号CN103114270A
- 申请公布时间2013年05月22日
- 分类号C23C14/32(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
