摘要:本发明公开了测定四氟化硅气体中杂质碘含量的方法,包括以下步骤:第一步,配置100mL?NaOH或KOH吸收液;第二步,连接好冷冻装置;第三步,用惰性气体置换整个管路中的空气,然后抽真空,反复5次;第四步,将经浓硫酸吸收、含氟化氢的浓硫酸吸收、活性炭、硅藻土净化后的SiF4气体引入冷冻装置,除去HI以及I2;第五步,将冷冻后的SiF4气体引入吸收瓶吸收,控制增重量m;第六步,用紫外分光光度法分析气体中的碘含量。本发明方法用于四氟化硅中杂质碘的分析,可以准确、迅速地测定碘杂质的含量,有利于高纯度四氟化硅的生产。适用于生产四氟化硅的企业。
- 专利类型发明专利
- 申请人贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司;贵州大学;
- 发明人唐安江;刘松林;张妙鹤;汤正河;张瑞;韦德举;龚孝祥;
- 地址550500 贵州省黔南布依族苗族自治州福泉市马场坪办事处迎宾路11号
- 申请号CN201210493730.0
- 申请时间2012年11月28日
- 申请公布号CN103091271B
- 申请公布时间2016年05月18日
- 分类号G01N21/33(2006.01)I;