摘要：本发明公开了一种化学液分配系统，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，其中第一化学液通路包括依次连接的第一气动阀、第一缓冲罐、第二气动阀和计量泵，其中第二化学液通路包括依次连接的第三气动阀、第二缓冲罐、第四气动阀、隔膜泵和脉冲消除装置，其中在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。本发明可以避免由于厂端供液时压力波动对化学液流量的影响，同时双系统设计提高了设备的稳定性及配比比例精准度，易于实现。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人周传霞;刘福生;何金群;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201310039423.X
- 申请时间2013年01月31日
- 申请公布号CN103090190B
- 申请公布时间2014年06月25日
- 分类号F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
