摘要：本发明公开了一种可降低误差的传感器及其测量方法，传感器结构包括：第一基板、第二基板、第三基板、加热电阻、通孔、第一基板的膜片、第一基板的空腔、第二基板的膜片、第二基板的空腔。测量压力方法：加热电阻通电加热第一基板的空腔，其空腔内空气热胀加压到第二基板膜片；降低加热电阻的加热功率；测量第二基板的膜片上的压力。通过上述步骤，第二基板的膜片可以维持在机械迟滞曲线的卸载线上，能够避免膜片位置的不确定性问题，遏制机械迟滞偏移造成的误差，改善压力传感器的测量精度。
- 专利类型发明专利
- 申请人南京高华科技股份有限公司;
- 发明人李维平;刘清惓;黄标;周晓;佘德群;
- 地址210049 江苏省南京市栖霞区马群科技园神马路2号
- 申请号CN201210585486.0
- 申请时间2012年12月26日
- 申请公布号CN103076132B
- 申请公布时间2016年10月05日
- 分类号G01L9/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
