摘要:本发明属于使用光伏处理尾气的技术领域,具体地说是一种光伏尾气处理系统。包括依次连接的吸附燃烧单元和吸附水洗单元,所述吸附燃烧单元和吸附水洗单元均设有吸附层,干泵从真空室抽出的尾气通过吸附燃烧单元和吸附水洗单元后排到大气中,两个吸附层防止水分逆流。本发明通过不同方式进行过滤,有效保证泵内气体清洁,有效防止泵的损坏和真空室被污染。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人李良进;张宁;王光玉;张军;郭丽娟;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
- 申请号CN201210590833.9
- 申请时间2012年12月29日
- 申请公布号CN103055658B
- 申请公布时间2014年12月31日
- 分类号B01D53/04(2006.01)I;B01D53/18(2006.01)I;F23G7/06(2006.01)I;