摘要：本发明属于真空镀膜技术领域，具体地说是一种应用于真空镀膜领域的链传输机构。包括导轨支架、基片托、带拔齿的传动链、基片及两个主动链轮，其中导轨支架设置于真空腔体内，所述两个主动链轮分别设置于导轨支架的下端两侧、并通过带拔齿的传动链传动连接，所述基片托设置于带拔齿的传动链上、并与导轨支架滑动连接，所述基片安装在基片托上；所述主动链轮驱动带拔齿的传动链水平移动，带拔齿的传动链上的拔齿带动基片托在导轨支架上水平移动。本发明适用于热场环境，能有效避免因热形变导致的传输卡壳。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人刘丽华;冯彬;孙影;佟雷;马锦;
- 地址110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号
- 申请号CN201210589980.4
- 申请时间2012年12月29日
- 申请公布号CN103046017A
- 申请公布时间2013年04月17日
- 分类号C23C14/56(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
