摘要:本发明公开一种调节式布气系统及包含其的磁控溅射镀膜装置,包括至少两根平行设置的布气管,每根布气管上均设置流量计,相邻两根布气管上错列设置吹气部,吹气部是由多个规格相同的均匀排列的气孔构成,每个气孔沿布气管的径向开设,多个气孔在布气管沿其轴向依次布置。通过将布气系统设置为至少两根布气管,并在相邻两根布气管上错列设置吹气部,可以使布气系统吹出的气体能均匀的到达靶面,保证膜层均匀;通过在布气管上设置流量计,使气体的流量可实时的调节,即根据靶面距待镀膜物体表面的距离、镀膜厚度的不同,精确的调节气体的流量,并且能使各个布气管上吹出的气体的流量相等,达到实时控制、精确镀膜的目的。
- 专利类型发明专利
- 申请人广东志成冠军集团有限公司;
- 发明人陈宇;
- 地址523000 广东省东莞市塘厦镇田心工业区广东志成冠军集团有限公司
- 申请号CN201210531667.5
- 申请时间2012年12月10日
- 申请公布号CN103014642B
- 申请公布时间2015年04月01日
- 分类号C23C14/35(2006.01)I;