摘要：本发明公开一种半导体传送设备及其取放装置，半导体传送设备，可用以将半导体元件自临时存放区传送至目标区，此设备包括取放装置以及机械手臂，其中取放装置包括吸管以及吸嘴。取放装置的吸管具有取放端，吸嘴套设在取放端，并具有取放面。而且，此取放面具有多个吸孔，连通至吸管的取放端。机械手臂则是连接至取放装置的吸管，用以带动取放装置在临时存放区与目标区之间移动。本发明提供的半导体传送设备是在取放装置中使用具有多个吸孔的吸嘴，因此可借由调整吸孔的数量及孔径而在不改变吸嘴与半导体元件之间的接触面积的情况下增加取放装置的吸力，进而有效改善取放装置的取放效率，并延长吸嘴的使用寿命。
- 专利类型发明专利
- 申请人青岛天信通软件技术有限公司;
- 发明人姜付鹏;李程;武传伟;
- 地址266000 山东省青岛市市南区山东路9号深业大厦A座23-B户
- 申请号CN201210534806.X
- 申请时间2012年12月12日
- 申请公布号CN102983094A
- 申请公布时间2013年03月20日
- 分类号H01L21/677(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;
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