摘要：本发明提供了一种水蒸气测量装置，包括：连通质谱仪的第一气体气源；连通储水容器内部的第二气体气源；所述储水容器具有进口和出口，所述进口连通所述第二气体气源，所述出口连通所述质谱仪；第一计算模块用于根据所述质谱仪传送来的对应于第二气体的离子信号强度得出水蒸气浓度；模型建立模块用于根据第一计算模块得出的水蒸气浓度、质谱仪传送来的对应于水蒸气的离子信号强度得出水蒸气浓度的测量模型；第二计算模块用于根据质谱仪传送来的对应于待测水蒸气的离子信号强度、所述测量模型得出待测水蒸气的浓度。本发明具有准确、快速、稳定、测量成本低等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人聚光科技（杭州）股份有限公司;
- 发明人张进伟;郑利武;张飞;陈生龙;顾海涛;
- 地址310052 浙江省杭州市滨江区滨安路760号
- 申请号CN201210434516.8
- 申请时间2012年11月05日
- 申请公布号CN102980936B
- 申请公布时间2015年01月14日
- 分类号G01N27/62(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
