摘要：本发明涉及真空镀膜设备领域，具体公开了一种卧式滚筒真空镀膜机，包括空心圆筒状壳体，所述壳体内固定有密封隔板，所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域，其中一区域设置为真空的密封隔离区，另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件。本发明在壳体内建立了一个真空的密封隔离区，当镀膜机工作抽真空时仅需抽除此密封隔离区以外区域的气体，在相同容积壳体内腔的状态下，减少了需要抽真空的体积，减少抽真空时间，提高了工作效率；并且减少了镀膜室内压缩可凝水蒸气体积，从而提高镀膜产品膜层质量。密封隔离区保持为真空状态，在镀膜过程避免密封隔离区向镀膜室内漏气。
- 专利类型发明专利
- 申请人东莞市汇成真空科技有限公司;
- 发明人李志荣;李志方;罗志明;
- 地址523838 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区
- 申请号CN201210405753.1
- 申请时间2012年10月22日
- 申请公布号CN102912297A
- 申请公布时间2013年02月06日
- 分类号C23C14/22(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
