摘要：本发明公开了一种利用反射泰铂效应成像的方法及其应用及装置，用激光束作照明光源，通过光路修整激光的波形后，对不透明的周期结构样品进行照射，使照射后产生的反射光束在反射泰铂像屏上成像。本发明采用激光作为光源，通过光路修整激光的波形后，对不透明的周期结构样品进行照射，使照射后产生反射自成像。本发明可应用于各种激光微加工结构的观察与控制系统中，特别是在硅基上的光子晶体与波导的光子制备中，它能对真空腔中的样品实现在线的反射泰铂成像放大与显微分析，极大的简化了硅基上微结构的放大与显微工序，提高了生产效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人贵州大学;
- 发明人黄伟其;
- 地址550025 贵州省贵阳市花溪区贵州大学北校区科学技术处
- 申请号CN201210304971.6
- 申请时间2012年08月26日
- 申请公布号CN102890060A
- 申请公布时间2013年01月23日
- 分类号G01N21/17(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B21/36(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
