摘要：本发明公开了一种补液装置，包括：储液罐、为所述储液罐提供化学药液的化学药液供给管路、为所述储液罐提供超纯水的超纯水供给管路、为所述储液罐定量补给超纯水的超纯水定量补给管路和循环管路，所述循环管路的一端与所述储液罐出液口连接，另一端连接所述储液罐进口。本发明提供的补液装置，可随着化学药液的反复使用，药液的浓度变化，定时定量的补给，能够维持一定的药液浓度，从而保证工艺效果，操作简单。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人初国超;何金群;王营营;裴立坤;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210387839.6
- 申请时间2012年10月12日
- 申请公布号CN102878429A
- 申请公布时间2013年01月16日
- 分类号F17D1/14(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
