一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置及方法

　　摘要：本发明公开了一种小口径回转轴对称光学元件抛光装置及方法。该装置包括密封容器机构，安装于密封容器机构内腔中的工作台驱动系统，与密封容器机构连接的抛光流体循环系统；密封容器机构内腔上部形成负压空间。抛光时利用负压差的吸流效应使抛光流体吸出、复合负压空穴效应对工件面进行加工，将加工的常压环境转换为负压环境，减少喷射过程中空气干扰，使抛光点缩小，增强微细磨粒的滑擦作用与稳定性；同时负压空穴效应形成强烈的空穴冲击波和高速微射流，提高了工件表面的去除效率。在磨粒切削与空穴冲蚀共同作用下进行材料去除，获得高质量的表面。该装置适用于各种回转对称曲面光学元件的抛光加工，对于自动化加工有很高的实用价值。

专利类型发明专利
申请人湖南大学;
发明人陈逢军;尹韶辉;胡天;余剑武;许志强;
地址410082 湖南省长沙市岳麓区麓山南路2号
申请号CN201210399583.0
申请时间2012年10月19日
申请公布号CN102873643B
申请公布时间2014年06月18日
分类号B24C3/02(2006.01)I;B24C7/00(2006.01)I;B24C9/00(2006.01)I;B24C5/00(2006.01)I;