摘要：本发明涉及半导体集成电路器件清洗技术领域，公开了一种具有监测半导体晶片状态功能的夹持装置，包括：可旋转的卡盘、位于所述卡盘几何中心的旋转轴、固定于所述旋转轴上的传感器、以及分布在所述卡盘上的至少三个夹持元件。本发明还提供了一种监测半导体晶片状态的方法。本发明通过凸轮和卡盘的相对转动来放松或夹紧晶片，结构简单、容易实现，进一步通过传感器精确测量晶片是否夹紧，避免了夹紧力过小造成晶片夹持不紧，或者夹紧力过大造成对晶片的破坏，稳定性得以提高。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人刘伟;吴仪;张豹;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 申请号CN201210348350.8
- 申请时间2012年09月18日
- 申请公布号CN102867771A
- 申请公布时间2013年01月09日
- 分类号H01L21/687(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
