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    防断电保护的硅片清洗机

      摘要:本发明公开了一种防断电保护的硅片清洗机,包括:工艺腔室和位于工艺腔室底部的N2管路,所述N2管路包括:常开N2管路和常闭N2管路,所述常开N2管路与常闭N2管路并联设置,所述常开N2管路上设有常开波纹密封阀,所述常闭N2管路上设有常闭波纹密封阀。本发明提供的防断电保护的硅片清洗机,采用双通道互锁并联设计,当设备主电源发生断电时候,两个互锁的波纹密封阀通过相反控制动作,使N2通路不会因为断电而发生中断,保证清洗机环境清洁。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
    • 发明人张绍国;何金群;裴立坤;吴仪;王好肖;
    • 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
    • 申请号CN201210348357.X
    • 申请时间2012年09月18日
    • 申请公布号CN102861745A
    • 申请公布时间2013年01月09日
    • 分类号B08B13/00(2006.01)I;B08B3/00(2006.01)I;