摘要:本发明公开了一种偏振二次靶能量色散型X射线荧光光谱仪,光谱仪将二次靶和样品两个平面布置在空间立体光路上,光谱仪的X光管射出原级X射线,所述的原级X射线以45°角入射到二次靶上,从二次靶上以45°出射的原级X射线的散射线是偏振方向垂直于入射平面的全偏振X射线,原级X射线在二次靶上激发的靶材特征X射线为各向同性的圆偏振线,且为分立谱线;提高峰背比,降低微量元素检测的检出限,并可以检测出样品中的低含量元素,提高了测试的准确性和效率。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市华唯计量技术开发有限公司;
- 发明人刘小东;刘明博;范真;
- 地址100035 北京市西城区西直门南大街2号成铭大厦B2座14G
- 申请号CN201210060257.7
- 申请时间2012年03月09日
- 申请公布号CN102841108A
- 申请公布时间2012年12月26日
- 分类号G01N23/223(2006.01)I;