摘要：本发明涉及一种激光直写加工的方法及装置，属于激光加工技术领域。该装置是由激光光源、反射镜组、前整形透镜组、液晶光阀、后整形透镜组、聚焦透镜、被加工材料、反射镜或者多面旋转反射镜构成的一个激光加工装置。所述的激光光源用来产生加工用的激光，加工用激光经过前透镜组扩束后，再经过液晶光阀整形，最后经过后透镜组扩束并汇聚到加工材料上，实现激光直写加工。本发明的加工装置可以在高速直写加工的同时满足特殊加工形状的需求，并能够实现宽范围的激光直写加工，具有很好的实际意义。
- 专利类型发明专利
- 申请人中国科学院光电研究院;北京国科世纪激光技术有限公司;
- 发明人赵天卓;余锦;樊仲维;黄科;聂树真;
- 地址100094 北京市海淀区西北旺镇邓庄南路9号中科院光电院
- 申请号CN201210308826.5
- 申请时间2012年08月28日
- 申请公布号CN102837128A
- 申请公布时间2012年12月26日
- 分类号B23K26/073(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
