摘要：本发明属于利用放电来测试材料领域，具体提供了一种用于辉光放电溅射深度测量的双激光器在线实时测量装置及方法。本发明采用两台激光位移传感器(A、B)和Grimm辉光放电光源(GDS)构成在线实时深度测量装置，能够在辉光放电光谱仪进行金属样品分析的同时，实时准确测得样品的溅射深度测量曲线和准确的溅射深度测量结果，为传统辉光深度分析方法中对深度估算不准确的问题提供有效解决方案。
- 专利类型发明专利
- 申请人钢研纳克检测技术有限公司;
- 发明人李小佳;万真真;王海舟;贾云海;余兴;张胜坤;罗剑秋;
- 地址100081 北京市海淀区高梁桥斜街13号
- 申请号CN201110161110.2
- 申请时间2011年06月15日
- 申请公布号CN102829732B
- 申请公布时间2016年07月06日
- 分类号G01B11/22(2006.01)I;G01N21/67(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
