摘要：本发明公开一种带有减振机构的真空操作平台，通过真空腔壳与密封法兰固定连接，密封法兰与减振法兰固定连接，而上波纹管固定连接于平台支撑板和减振法兰之间，下波纹管固定连接于密封法兰与平台支撑板之间。当振动产生时，真空腔壳将振动传递给密封法兰，密封法兰直接将振动传递给下波纹管，同时密封法兰的振动通过辅助支撑件传递至减振法兰后传递给上波纹管，减振法兰可以沿着辅助支撑件轴向调整以调整同时调整上波纹管和下波纹管的形变，目的是使得上波纹管传递到平台支撑板的振动力与下波纹管传递到平台支撑板的振动力方向相反，有效的减小平台支撑板的振动。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人曹桂英;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201210263386.6
- 申请时间2012年07月27日
- 申请公布号CN102818587B
- 申请公布时间2014年08月20日
- 分类号G01D11/30(2006.01)I;G01D11/10(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
