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    基于双轴织构金属基带的新型复合隔离层及制备方法

      摘要:一种基于双轴织构金属基带的新型复合隔离层及制备方法,采用三层结构,上层为锆酸镧(La2Zr2O7)隔离层,中间层为钇稳定氧化锆(YSZ)隔离层,下层为氧化铈(CeO2)隔离层。本发明用锆酸镧(La2Zr2O7)代替传统CeO2/YSZ/CeO2和CeO2/YSZ/Y2O3三层复合隔离层结构中的CeO2帽子层,并采用射频磁控溅射镀膜技术制备高质量的La2Zr2O7隔离层。该方法具有高的稳定性,重复可靠性及高的沉积速率,其制备得到的La2Zr2O7隔离层致密均匀,与YSZ隔离层结合力强。本发明基于金属基带的La2Zr2O7/YSZ/CeO2复合隔离层具有单一的(00/)取向,高的面内和面外织构,表面光洁度好,适合于在其上外延生长高性能的稀土氧化物超导层。
    • 专利类型发明专利
    • 申请人上海超导科技股份有限公司;
    • 发明人徐达;刘林飞;李贻杰;
    • 地址200080 上海市虹口区四川北路1717号23楼
    • 申请号CN201210242021.5
    • 申请时间2012年07月13日
    • 申请公布号CN102774074B
    • 申请公布时间2015年09月09日
    • 分类号B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;