基于双轴织构金属基带的新型复合隔离层及制备方法

　　摘要：一种基于双轴织构金属基带的新型复合隔离层及制备方法，采用三层结构，上层为锆酸镧(La2Zr2O7)隔离层，中间层为钇稳定氧化锆(YSZ)隔离层，下层为氧化铈(CeO2)隔离层。本发明用锆酸镧（La2Zr2O7）代替传统CeO2/YSZ/CeO2和CeO2/YSZ/Y2O3三层复合隔离层结构中的CeO2帽子层，并采用射频磁控溅射镀膜技术制备高质量的La2Zr2O7隔离层。该方法具有高的稳定性，重复可靠性及高的沉积速率，其制备得到的La2Zr2O7隔离层致密均匀，与YSZ隔离层结合力强。本发明基于金属基带的La2Zr2O7/YSZ/CeO2复合隔离层具有单一的（00/）取向，高的面内和面外织构，表面光洁度好，适合于在其上外延生长高性能的稀土氧化物超导层。

专利类型发明专利
申请人上海超导科技股份有限公司;
发明人徐达;刘林飞;李贻杰;
地址200080 上海市虹口区四川北路1717号23楼
申请号CN201210242021.5
申请时间2012年07月13日
申请公布号CN102774074A
申请公布时间2012年11月14日
分类号B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;