一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置及方法

　　摘要：本发明涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光经过电动光闸（2）进入扩束镜（5）进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光经由1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）经远心场镜（8）聚焦到作为待加工件（12）的有机玻璃的导电膜层上。本发明涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，加工简单、效率高且无需耗材。

专利类型发明专利
申请人江阴德力激光设备有限公司;
发明人赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华;
地址214434 江苏省无锡市江阴市城东街道金山路201号数码港C座1楼
申请号CN201210185858.0
申请时间2012年06月07日
申请公布号CN102744521A
申请公布时间2012年10月24日
分类号B23K26/36(2006.01)I;B23K26/04(2006.01)I;B23K26/03(2006.01)I;B23K26/14(2006.01)I;