摘要：一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4）。本发明特点是启用气浮支撑形式，平台相对运动部分用一定刚度的气膜隔开，系统无摩擦，采用直线电机驱动的方式，避免高速运动下，质心偏转导致传动副精度降低的问题，提高平台定位精度、速度和加速度，满足工业要求。
- 专利类型发明专利
- 申请人南京工业大学;南京工大数控科技有限公司;
- 发明人洪荣晶;钟黔;方成刚;
- 地址210009 江苏省南京市新模范马路5号
- 申请号CN201210194434.0
- 申请时间2012年06月13日
- 申请公布号CN102723303B
- 申请公布时间2015年05月20日
- 分类号H01L21/68(2006.01)I;
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