摘要：一种淀积源，所述淀积源包括坩锅和本体，该坩锅用来包含淀积材料，该本体包括传导通道。传导通道的输入部联接到坩锅的输出部上。加热器加热坩锅，从而坩锅将淀积材料蒸发到传导通道中。隔热屏在加热器和本体中的至少一者周围定位，该隔热屏包括多个耐热材料层。多个喷嘴联接到传导通道的输出部上，从而蒸发淀积材料从坩锅通过传导通道运输到多个喷嘴，从而，蒸发淀积材料从多个喷嘴排出，以形成淀积通量。
- 专利类型PCT发明
- 申请人维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司;
- 发明人C·康罗伊;S·W·普里迪;J·A·达尔斯特伦;R·布雷斯纳汉;D·W·戈特霍德;J·帕特林;
- 地址美国纽约
- 申请号CN201080059918.3
- 申请时间2010年06月17日
- 申请公布号CN102712993A
- 申请公布时间2012年10月03日
- 分类号C23C14/24(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I;
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