摘要：本发明公开了一种光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，采用密闭腔作为参考腔，密闭腔里预先冲入工作气体，密闭腔的气体压强通过连接在密闭腔上的压力传感器监控；通过继续充入或微量放气来调节密闭腔的压力到需要值，通过微流量比例控制阀来控制工作气体输入到流动腔的气体流量；流动腔的气体由微流量比例控制阀控制泄放量，密闭腔和流动腔的压强差通过微压差传感器检测；流动腔与密闭腔处于相同的温度下，调节往流动腔补充气体的微流量比例控制阀和控制流动腔气体泄放的微流量比例控制阀，使流动腔的气体压力与密闭腔的气体压力维持为0或设定值，来达到流动腔气体密度稳定的目的。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市华唯计量技术开发有限公司;
- 发明人刘小东;
- 地址100035 北京市西城区西直门南大街2号成铭大厦B2座14G
- 申请号CN201210060235.0
- 申请时间2012年03月09日
- 申请公布号CN102681003A
- 申请公布时间2012年09月19日
- 分类号G01T7/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
