摘要：本发明涉及一种灵敏的湿度传感器材料的制备方法。该方法利用溶胀介孔化的嵌段共聚物为模板，经原子层沉积(ALD)技术制备三维的介孔氧化物薄膜，从而制备出具有高灵敏度的湿度传感器。主要包括以下具体步骤：(1)两亲性嵌段共聚物经微相分离、选择性溶剂溶胀后，制备出具有三维网络状孔结构的有机模板；(2)将溶胀介孔化的有机模板放在反应腔体中，依次往反应室中通入金属源前驱体、氮气、水蒸气、氧化前驱体；(3)通过调节沉积循环次数，精确控制沉积层的厚度；(4)将ALD沉积后的有机模板，在高温下煅烧，以去除有机模板，制备三维的介孔氧化物薄膜。本发明工艺简单，过程高度可控。
- 专利类型发明专利
- 申请人南京工业大学;
- 发明人汪勇;李逢彬;邢卫红;范益群;
- 地址210009 江苏省南京市鼓楼区新模范马路5号
- 申请号CN201210078465.X
- 申请时间2012年03月22日
- 申请公布号CN102645455A
- 申请公布时间2012年08月22日
- 分类号G01N27/22(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
