摘要：本发明涉及半导体测试领域，涉及一种半导体材料的激光激发荧光与白光反射的同步测量装置，更具体的说涉及LED外延片非接触式测试装置。本发明装置包括：在支撑板（2）上固定的光谱仪（3）、收光装置（4）、激光器安装架（5）、激光器（6）、分光镜装置（7）、滤光片装置（8）、中央开孔反射镜（9）、聚光装置（10）、白光源（11）、样品（12）安装架、光路安装座（13）。本发明的优点是由于采用了上述技术方案，本发明与现有技术相比，测试效率明显提高，具有良好的经济效益。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中拓机械有限责任公司;
- 发明人郭金源;徐杰;
- 地址102208 北京市昌平区回龙观北京中拓机械有限责任公司
- 申请号CN201210127936.1
- 申请时间2012年04月27日
- 申请公布号CN102636472B
- 申请公布时间2014年09月17日
- 分类号G01N21/64(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
