摘要：一种修改衬底载体以提高处理性能的方法，包括在由衬底载体支撑的衬底上沉积材料或制造器件。然后根据它们在衬底载体上的对应位置测量在衬底上沉积的层的参数。使在衬底上制造的至少一些器件的测量的参数或沉积的层的特性与衬底载体的物理性质关联，以获得与衬底载体上的多个位置对应的衬底载体的多个物理性质。然后在衬底载体上的多个对应位置中的一个或更多个处修改衬底载体的物理性质，以根据衬底载体上的位置获得沉积的层或制造的器件的期望的参数。
- 专利类型PCT发明
- 申请人维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司;
- 发明人J·曼古姆;W·E·奎因;
- 地址美国纽约
- 申请号CN201080048148.2
- 申请时间2010年11月12日
- 申请公布号CN102598239B
- 申请公布时间2015年07月29日
- 分类号H01L21/673(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;
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