摘要：本发明公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置及清洗方法，该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成，夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧；清洗时同组夹持元件的动作一致，两组夹持元件交替打开和卡紧。通过采用同组夹持元件安装对外同极性磁铁，不同组夹持元件安装磁极相反磁铁；卡盘主体上均匀间隔设两组电磁铁。清洗初期两组电磁铁不通电，两组夹持装置处于压缩弹簧弹力作用下的夹紧状态，清洗时通过改变电磁铁中电流方向来使夹持元件交替打开。本发明可以对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而提高薄壁盘状物的整体清洗质量。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人吴仪;王浩;李伟;王锐廷;张豹;
- 地址100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201210042925.3
- 申请时间2012年02月23日
- 申请公布号CN102569150B
- 申请公布时间2014年12月10日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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