摘要：本发明公开了一种碲锌镉与金属界面的透射电子显微镜样品制备方法，用于解决现有的在制备CdZnTe与金属界面TEM样品时极易发生样品碎裂而导致废品率高的技术问题。技术方案是对CdZnTe单晶体进行线切割、清洗、抛光后，进行化学腐蚀；在电阻蒸发镀膜机中制备金属电极；将样品对粘后，在加热台上烘烤；然后沿粘接缝隙的法线方向进行磨抛减薄后进行双面抛光，在其中一面粘接铜载网后，用手动研磨器减薄样品，最后采用Gatan?691型离子减薄仪进行减薄直至样品击穿。由于采用多片粘接和手动研磨器以高标号的砂纸进行研磨抛光，经过减薄和抛光，从而在最大程度上降低在减薄过程中对界面区域造成的损伤，提高了样品制备的成功率。样品制备成功率由背景技术的30％～40％提高到60％～70％。
- 专利类型发明专利
- 申请人西北工业大学;
- 发明人傅莉;孙颉;聂中明;
- 地址710072 陕西省西安市友谊西路127号
- 申请号CN201210034447.1
- 申请时间2012年02月15日
- 申请公布号CN102539213B
- 申请公布时间2013年06月19日
- 分类号G01N1/28(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I;
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