摘要:本发明公开了一种光栅细分方法,包括:S1、一种光栅细分的方法,其特征在于,包括:S1.运用信号差分放大原理将光栅尺输入的四路相位信号整合成两路相位信号;S2.判断所述的两路相位是否相差呈形成标准圆的90度;S3.根据光仪器的精度,将所述的标准圆分成若干等份;S4.根据所述的等份确定采样数据对应于所述标准圆上的位置。本发明还公开了一种光栅细分方法装置和系统。实施本发明的光栅细分方法和装置大大改善了系统定位精度,使光栅在工业定位控制上面的定位精度更为准确、连续。
- 专利类型发明专利
- 申请人深圳市菲恩测控科技有限公司;
- 发明人汪红兵;赵明;孙维实;
- 地址518000 广东省深圳市南山区桃源街道丽山路大学城创业园310室
- 申请号CN201110387477.6
- 申请时间2011年11月29日
- 申请公布号CN102519503B
- 申请公布时间2016年03月02日
- 分类号G01D5/38(2006.01)I;