摘要：本发明公开了一种兆声波换能装置，涉及声波换能器技术领域，包括：换能器(1)、振子(2)、固定装置(3)和耦合介质层(4)，所述振子(2)通过所述固定装置(3)安装于所述换能器(1)上，所述振子(2)与固定装置(3)之间设有耦合介质层(4)；所述换能器(1)包括微声共振腔阵列(8)；所述微声共振腔阵列(8)分为至少三层，其中相邻两层中的共振腔的轴心沿径向错开腔直径的三分之一到一半的距离。本发明能够有效地减少或消除兆声波干涉，避免在兆声波腐蚀清洗工艺中产生一定的晶片表面和特征结构损坏。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人吴仪;马嘉;初国超;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110355925.4
- 申请时间2011年11月10日
- 申请公布号CN102500540B
- 申请公布时间2014年09月10日
- 分类号B06B1/04(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
