摘要:本发明提供了具有在线清洗功能的质谱分析仪,所述质谱分析仪包括离子阱,射频电源,所述射频电源用于在清洗状态时给所述离子阱施加恒定电压,以及在工作状态时为离子阱施加恒定电压;真空单元,所述真空单元用于在清洗状态时使所述离子阱维持在低真空状态,从而使得所述离子阱的电极在所述恒定电压、低真空状态时发生等离子放电,以及在工作状态时使所述离子阱维持在高真空状态;控制单元,所述控制单元用于选择性地使所述质谱分析仪处于清洗状态、空闲状态和工作状态。本发明具有清洗效果好、实施方便、自动化高等优点。
- 专利类型发明专利
- 申请人聚光科技(杭州)股份有限公司;
- 发明人梁炎;郑毅;刘立鹏;马乔;
- 地址310052 浙江省杭州市滨江区滨安路760号
- 申请号CN201110284595.4
- 申请时间2011年09月23日
- 申请公布号CN102446692A
- 申请公布时间2012年05月09日
- 分类号H01J49/02(2006.01)I;H01J49/26(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I;