摘要：本发明公开了一种盘状物夹持装置，涉及半导体晶片工艺技术领域，该装置包括：卡盘主体、凸轮、转轴、至少三个夹持部件，所述转轴安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，用于带动所述卡盘主体旋转，所述凸轮可旋转地安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，所述夹持部件安装在所述卡盘主体上，其非夹持端通过限位挡块顶在所述凸轮的活动面上，所述限位挡块用于在所述凸轮随卡盘主体转动时，沿所述卡盘主体径向固定所述夹持部件，所述活动面用于在所述凸轮相对卡盘主体转动时，使所述夹持部件沿所述卡盘主体径向向外移动。本发明实现了在不损坏被夹持物的情况下对盘状物的夹持；且不限定机械手的夹持位置。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张豹;李伟;张晓红;王锐廷;吴仪;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110365937.5
- 申请时间2011年11月17日
- 申请公布号CN102437079A
- 申请公布时间2012年05月02日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
