摘要：本发明公开了一种密封装置，涉及半导体工艺设备的密封技术领域，该装置包括：充气密封圈及为所述充气密封圈充气的充气装置，所述充气密封圈用于密封待密封空间，所述充气密封圈包括：充气圈及与所述充气圈形成为一体的固定座，所述充气圈用于密封待密封空间，所述固定座用于固定所述充气密封圈。还公开了一种密封系统，包括上述密封装置和密封门。本发明采用充气密封圈，在密封时消除密封门与门框之间的间隙，得到了良好的密封效果，而且产品使用过程比较稳定，不易破损，结构简单，寿命较长。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王丽荣;董金卫;慕晓航;赵星梅;郝永鹏;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110332641.3
- 申请时间2011年10月27日
- 申请公布号CN102425366A
- 申请公布时间2012年04月25日
- 分类号E06B7/16(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
