摘要：本发明公开了一种单片清洗设备中的硅片夹持装置，涉及硅片清洗设备技术领域，包括：夹持装置主体(1)、以及用于固定和支撑硅片的硅片固定凸台(2)，所述夹持装置主体(1)上、在所述硅片固定凸台(2)上方的位置设有至少一个工艺压差加速孔(3)，所述工艺压差加速孔(3)用于在所述硅片固定凸台(2)夹持硅片处产生压差。本发明利用伯努利效应，在硅片夹持装置上设置工艺压差加速孔，使得工艺压差加速孔靠近卡盘旋转中心侧与远离中心侧的位置之间产生压力差，使工艺压差加速孔从里向外产生吹气效果，能够有效的去除硅片夹持装置与硅片被夹持位置死区处的颗粒，改善对硅片的清洗效果。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人王波雷;吴仪;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110365941.1
- 申请时间2011年11月17日
- 申请公布号CN102403254A
- 申请公布时间2012年04月04日
- 分类号H01L21/683(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
