摘要：本发明涉及兆声波换能器技术领域，公开了一种随机相移混频型压电振子组合兆声波换能器装置，其中，交流电压激励信号发生放大电路的微处理器用于输出多路交流电压激励信号的频率控制字和移相控制字至多通道交流电压激励信号发生电路，且至少一路移相控制字在一定范围内随时间随机变化；多通道交流电压激励信号发生电路根据频率控制字和移相控制字产生多路交流电压激励信号；功率放大和阻抗匹配电路用于先通过功率放大电路将所产生的交流电压激励信号放大为驱动信号，再通过阻抗匹配电路输出至兆声波换能器组装体；兆声波换能器组装体通过加载所产生的驱动信号产生随机变化的声场。通过本发明能产生表面湿法腐蚀清洗所需要的均匀性声场。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人吴仪;马嘉;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110332322.2
- 申请时间2011年10月27日
- 申请公布号CN102397838B
- 申请公布时间2013年12月18日
- 分类号B06B1/06(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
