摘要：本发明属于物理气相沉积技术领域，特别涉及一种电磁加速联合等离子体辅助增强电子束物理气相沉积系统。在真空室内设置上极板和下极板，在上极板的下方位置安装试样，在试样和下极板之间设置栅极；在沉积料棒周围设置环形的气体管道，在气体管道的内圈设置的冷却水管道；其中，上极板和下极板为正电极，栅极为负电极。该设备能够使被蒸发的气态材料具有一定的沉积速率和较好的指向性，从而能够有效地提高电子束物理气相沉积技术的沉积速率和沉积效率，进而提高涂层与基体的结合强度，另外，对于多坩埚条件下的沉积，如果为了获得某些特定区域的沉积涂层或者为了获得复合涂层，将会同过磁场改变粒子的行进路线，从而更好的沉积效果。
- 专利类型发明专利
- 申请人华北电力大学;
- 发明人张东博;
- 地址102206 北京市昌平区朱辛庄华北电力大学
- 申请号CN201110326518.0
- 申请时间2011年10月24日
- 申请公布号CN102383096B
- 申请公布时间2014年07月09日
- 分类号C23C14/32(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
