摘要：一种热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉，属于特种陶瓷材料制备技术领域。该方法采用具有进气机构并且在炉内设置有旋转的模具的气相沉积炉，原料气体为N2、NH3和BCl3的混合气体，其中：N2、NH3和BCl3气体的mol比为30-10∶10-1∶8-0.5，气相沉积炉的炉温为1700～2000℃，保温时间为14-26h，所述的旋转模具在所述的气相沉积炉内呈倾斜设置。优点：由于将旋转的模具在气沉积炉内呈斜设置，从而能使原料气体沿倾斜角度向上偏流，在流动过程中将沟槽填平，使得到的热解氮化硼板材表面平整，有利于显著减小残余应力和提高合格率；提供的沉积炉结构简单，能保障热解氮化硼板材的所述技术效果的全面体现。
- 专利类型发明专利
- 申请人苏州明林光电科技有限公司;
- 发明人赵林;赵凤鸣;
- 地址215513 江苏省苏州市常熟市常熟经济开发区沿江工业区马桥路6号马桥工业坊22栋
- 申请号CN201110323008.8
- 申请时间2011年10月21日
- 申请公布号CN102330068B
- 申请公布时间2012年10月10日
- 分类号C23C16/34(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
教育装备采购网在线客服
京公网安备11010802043465号
