摘要:一种适合于连续化制备高温超导带材的方法,首先制备金属基带,其次在金属基带上生长复合隔离层,然后在复合隔离层上生长超导层,最后在超导层上生长保护层。本发明采用了多靶多通道激光镀膜方法在同一镀膜系统内完成复合隔离层和超导层的原位制备,大大提高了激光利用率和带材制备速度、减少了抽真空时间、提高了设备利用率、降低了固定资产投资强度,从而大大降低了高温超导带材的制造成本。
- 专利类型发明专利
- 申请人上海超导科技股份有限公司;
- 发明人李贻杰;
- 地址200080 上海市四川北路1717号23楼
- 申请号CN201110143711.0
- 申请时间2011年05月31日
- 申请公布号CN102306702B
- 申请公布时间2013年06月05日
- 分类号H01L39/24(2006.01)I;C23C28/00(2006.01)I;