摘要：一种磁悬浮分子泵及其控制方法、制造方法，所述磁悬浮分子泵包括泵体和设置在所述泵体内的转子轴系；所述转子轴系包括转子、第一径向磁轴承、第二径向磁轴承、第一轴向磁轴承和第二轴向磁轴承；所述转子包括转子轴和与所述转子轴固定的叶轮；所述转子轴的中部依此间隔地套设有所述第一径向磁轴承和所述第二径向磁轴承；常态下，转子质心设置于所述转子轴的轴线上并与所述第一径向传感器的质心重合。本发明提供的磁悬浮分子泵基本实现转子的平动和转动两种运动相互解耦，可分别对上述两种运动进行调整控制，从而简化了控制过程，降低了控制难度、提高了磁悬浮分子泵系统控制效率和稳定性。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京中科科仪股份有限公司;清华大学;
- 发明人张剀;武涵;李奇志;张小章;邹蒙;
- 地址100190 北京市海淀区中关村北二条13号
- 申请号CN201110167633.8
- 申请时间2011年06月21日
- 申请公布号CN102242722B
- 申请公布时间2013年12月18日
- 分类号F04D19/04(2006.01)I;F04D27/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
