摘要：本发明公开了一种半导体清洗液管理装置，包括：储液单元，用于储存清洗液；浓度液位检测单元，用于检测所述储液单元中清洗液的浓度及液位，并将检测到的浓度数据及液位数据传输给所述控制单元；控制单元，用于根据所述浓度数据及液位数据生成相应的控制信号，并将所述控制信号发送给所述执行单元；执行单元，用于根据所述控制信号执行所述储液单元的清洗液的排放、补充所述储液单元的化学药剂、补充所述储液单元的水、更换所述储液单元的清洗液、回收反应腔体的清洗液、以及供液给反应腔体的动作。本发明通过与反应腔体控制装置的结合，实现了对清洗液进行自动管理，并实现了在没有技术人员对清洗液进行管理的情况下，持续的进行清洗工艺。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人郭训容;吴仪;裴立坤;昝威;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110033084.5
- 申请时间2011年01月30日
- 申请公布号CN102208327B
- 申请公布时间2012年11月14日
- 分类号H01L21/00(2006.01)I;B08B3/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
