摘要：本发明公开了一种单晶圆干燥装置，包括：工艺腔体(7)和设置在所述工艺腔体(7)中的晶圆支撑(20)，还包括：一端连接于所述工艺腔体(7)外壁上的进气管(6)和连接在所述进气管(6)上的第一氮气输入管路(3)，所述进气管(6)的另一端与用于装载异丙酮的蒸汽腔体(2)连接，所述蒸汽腔体(2)内设有加热装置(1)，所述蒸汽腔体(2)出口和所述第一氮气输入管路(3)内均设有气体质量流量计，通过各个部件之间的配合，避免了干燥过程中产生水痕导致产品缺陷。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人张晓红;吴仪;赵宏宇;王锐廷;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201010582195.7
- 申请时间2010年12月06日
- 申请公布号CN102148133B
- 申请公布时间2012年09月05日
- 分类号H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;F26B3/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
