摘要：本发明涉及一种清洗药液的前馈-串级温度控制方法，属于自动化控制技术领域。为了提高药液温度控制方法的抗扰动能力，该方法包括如下步骤：在药液存储槽底部位置设置第一温度传感器及前馈控制器，在加热器的出口处设置第二温度传感器，在工艺清洗供液出口处设置第三温度传感器；控制加热器对药液存储槽进行加热，使存储槽内药液温度达到目标温度值；当药液达到目标温度值并稳定后，进行清洗药液供给，同时控制加热器加热功率使供液温度稳定保持为供液目标温度值。该方法可以有效的克服因清洗药液回收或者补液所引起的供液出口处的供液温度的扰动；可以有效克服管道压力变化等因素所引起的流量波动对加热器出口处药液温度的影响。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人李春彦;李曼;韩雷刚;裴立坤;昝威;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201110108494.1
- 申请时间2011年04月28日
- 申请公布号CN102147626A
- 申请公布时间2011年08月10日
- 分类号G05D23/20(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
