摘要：本发明公开了一种化学制剂处理系统，包括构造相同的第一子系统和第二子系统、用于在两个子系统之间进行切换的第一方向切换阀、第二方向切换阀和第三方向切换阀以及工艺单元和在线化学分析仪。本发明的系统可以在不需要时间以重新注入化学制剂的情况下利用两个相同子系统的切换持续地向工艺单元提供化学制剂；该系统利用在线化学分析仪的帮助，可以循环再利用在工艺单元中已使用过的化学制剂，降低生产成本；该系统可快速而准确地控制化学制剂的温度、流量和压力。
- 专利类型发明专利
- 申请人北京七星华创电子股份有限公司;
- 发明人裴立坤;昝威;何金群;王锐廷;
- 地址100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 申请号CN201010624099.4
- 申请时间2010年12月31日
- 申请公布号CN102122608A
- 申请公布时间2011年07月13日
- 分类号H01L21/00(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
