摘要:本发明涉及一种磁悬浮分子泵的模糊控制方法包括:通过检测装置检测分子泵实现静态悬浮时的径向磁轴承静态电流信息、轴向磁轴承静态电流信息,分子泵工作时的转子位移偏差和转子位移偏差变化率;根据径向磁轴承静态电流信息和轴向磁轴承静态电流信息计算出磁悬浮分子泵安装角α和径向磁轴承重力因子;将分子泵安装角α、径向磁轴承重力因子、转子位移偏差和转子位移偏差变化率模糊化,查询模糊控制规则经过模糊推理,并经过去模糊化后输出控制径向磁轴承偏置电流信息,控制轴向磁轴承偏置电流信息和控制PID参数信息,完成控制参数整定,从而保证其在任意位置安装均能稳定工作。本发明还介绍了一种采用该模糊控制方法的模糊控制系统。
- 专利类型发明专利
- 申请人清华大学;北京中科科仪股份有限公司;
- 发明人张剀;张小章;李奇志;邹蒙;武涵;
- 地址100084 北京市海淀区清华园1号
- 申请号CN201010619897.8
- 申请时间2010年12月31日
- 申请公布号CN102072184B
- 申请公布时间2013年06月05日
- 分类号F04D27/00(2006.01)I;