摘要:本发明涉及一种真空泵,具体涉及一种三轴爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴,主轴上装配有主动齿轮,与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上,在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子,爪型转子组之间用隔板隔开,所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。不仅提高了泵的工作效率和抽气效率,还增强了泵工作的稳定性。
- 专利类型发明专利
- 申请人东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人巴德纯;刘坤;岳向吉;张振厚;王光玉;
- 地址110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- 申请号CN201010565664.4
- 申请时间2010年11月30日
- 申请公布号CN101985937B
- 申请公布时间2012年10月17日
- 分类号F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I;