摘要：本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有罗茨转子，所述的从动轴有两根，平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点，能实现较大的抽气速率。
- 专利类型发明专利
- 申请人东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司;
- 发明人刘坤;巴德纯;岳向吉;李培印;王光玉;张振厚;
- 地址110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
- 申请号CN201010565609.5
- 申请时间2010年11月30日
- 申请公布号CN101985935B
- 申请公布时间2012年12月26日
- 分类号F04C25/02(2006.01)I;F04C18/14(2006.01)I;
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