摘要：本发明涉及一种全解耦双轴电容式微机械加速度计，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。加速度计中，立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向折叠梁通过立柱固定在加速度计的基片上，横向和纵向可动电极分别与横向和纵向折叠梁相对固定，横向和纵向固定电极固定在加速度计的基片上，且分别与横向和纵向可动电极的位置相对，横向隔离梁与纵向可动电极相对固定，纵向隔离梁与横向可动电极相对固定，敏感质量块位于由横向和纵向隔离梁围成的方框中，敏感质量块的四角分别与横向和纵向隔离梁相对固定。本发明的加速度计，完全解决了双轴电容式微机械加速度计的机械交叉耦合问题，降低了测量误差，实现了对加速度的高精度测量。
- 专利类型发明专利
- 申请人紫光股份有限公司;
- 发明人高宏;王庆;
- 地址北京市海淀区清华大学紫光大楼605室
- 申请号CN200910242283.X
- 申请时间2009年12月11日
- 申请公布号CN101876665B
- 申请公布时间2012年04月25日
- 分类号G01P15/125(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;
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京公网安备11010802043465号
